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区域仪器

区域仪器规定用哪种物理原理得到三维表面,以及原理带来的偏差。它不规定你选 Sa 还是 Sq,说明「测到的是不是那张皮」。

要点

常见:相移干涉、白光干涉、共聚焦、焦点变化、接触扫描拼成面。光学对斜率、透明膜、尖谷各有死角;触针有针尖卷积。ISO 25178-6xx 分仪器。

边界:仪器合格 ≠ 规范实现正确。滤波和场仍要按图。

flowchart TB
  phys[物理原理] --> cloud[三维点]
  cloud --> fil[滤波]
  fil --> par[参数]

图样标注

通常不指定仪器。仲裁可写「按 25178-xxx 类仪器」。光学与触针争议时,应在合同指定。

ISO GPS / GB

ISO 25178 仪器部分、ISO 25178-600 通用。与 触针仪器 对照。

ASME / B46.1

仪器分类与计量要求在 B46.1 与企业程序。B89 不替代表面仪器标准。

差异对照

项目 ISO 25178 ASME
默认 不指定原理 同
基准 无 无
实体 无 无
检测 原理限制必须评估 同

加工与误用

例子。 深槽储油表面用干涉仪,谷底测不到,Sa 偏小。应换长工作距共焦或触针,或声明测不到的区域。

常见误用:把显微镜照片当 25178 测量;拼接场的匹配误差当表面结构。

检测要点

噪声、放大、校准片、最大斜率。见 表面校准 测量不确定。

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