区域仪器¶
区域仪器规定用哪种物理原理得到三维表面,以及原理带来的偏差。它不规定你选 Sa 还是 Sq,说明「测到的是不是那张皮」。
要点¶
常见:相移干涉、白光干涉、共聚焦、焦点变化、接触扫描拼成面。光学对斜率、透明膜、尖谷各有死角;触针有针尖卷积。ISO 25178-6xx 分仪器。
边界:仪器合格 ≠ 规范实现正确。滤波和场仍要按图。
flowchart TB
phys[物理原理] --> cloud[三维点]
cloud --> fil[滤波]
fil --> par[参数]
图样标注¶
通常不指定仪器。仲裁可写「按 25178-xxx 类仪器」。光学与触针争议时,应在合同指定。
ISO GPS / GB¶
ISO 25178 仪器部分、ISO 25178-600 通用。与 触针仪器 对照。
ASME / B46.1¶
仪器分类与计量要求在 B46.1 与企业程序。B89 不替代表面仪器标准。
差异对照¶
| 项目 | ISO 25178 | ASME |
|---|---|---|
| 默认 | 不指定原理 | 同 |
| 基准 | 无 | 无 |
| 实体 | 无 | 无 |
| 检测 | 原理限制必须评估 | 同 |
加工与误用¶
例子。 深槽储油表面用干涉仪,谷底测不到,Sa 偏小。应换长工作距共焦或触针,或声明测不到的区域。
常见误用:把显微镜照片当 25178 测量;拼接场的匹配误差当表面结构。